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    第五屆國際先進光刻技術研討會在廣東佛山開幕

    2021-12-12   光刻人的世界

    12月12日,第五屆國際先進光刻技術研討會(IWAPS)在廣東佛山開幕,本屆大會由中國集成電路創新聯盟、中國光學學會、中國電子學會、中國集成電路材料創新聯盟主辦,中國科學院微電子研究所、季華實驗室、廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院、佛山科學技術學院承辦,佛山高新技術產業開發區管理委員會、中國科學院大學微電子學院、南京誠芯集成電路技術研究院協辦,IEEE電氣和電子工程師協會提供技術支持。本屆大會得到全芯智造、Siemens EDA、EDWARDS、徐州博康、東方晶源、FUJIFILM、GIGAPHOTON、廈門恒坤、HITACHI、上海華力、JSR、北京科華、沈陽芯源、KLA、南大光電、PIBOND、上海微電子裝備、ZEISS、CYMER等國內外企業贊助支持,來自中國、美國、德國、日本、荷蘭等世界各地眾多名企、廠商、科研機構、高校的技術專家和學者參加會議。   

    會議開始,大會主席、中國集成電路創新聯盟理事長、十三屆全國政協教科衛體委員會副主任、季華實驗室理事長兼主任曹健林研究員,大會主席、中國集成電路創新聯盟副理事長兼秘書長、中國半導體行業協會副理事長、中國半導體行業協會集成電路分會理事長葉甜春研究員,廣東省工業和信息化廳總工程師董業民,廣東省科學技術廳高新技術處一級調研員云丹平,中國光學學會秘書長、COS、OSA、SPIE會士、浙江大學現代光學儀器國家重點實驗室主任劉旭教授,SPIE會士、ASML公司應用經理Will Conley,SPIE會士、AS Lithography Consulting公司CEO Akiyoshi Suzuki分別致辭。SPIE會士、中國科學院微電子研究所計算光刻研發中心主任韋亞一研究員主持開幕式。按照大會日程安排,在兩天的時間里,來自Nvidia、ASML、Siemens EDA、Canon、KLA、Nikon、上海華力、長鑫存儲、ZEISS、Edwards、沈陽芯源、DNP、HITACHI、JSR、FUJIFILM、Nova、復旦大學、全芯智造、東方晶源、Gigaphoton、暨南大學、同濟大學、湖南大學、青島天仁、HFC等公司機構和高校的特邀嘉賓分別就擬定的主題作特邀報告,深入分析光刻領域先進節點最新的技術手段和解決方案,包含先進節點的計算光刻技術、SMO、DTCO、EUV、工藝、量測、Deep Learning、光刻設備、材料等,內容豐富。

    本屆大會本次會議由于疫情的原因,參會名額有限,因此會議方開通了線上互動環節。,除現場參會者外,還有許多國內外演講嘉賓和組委會成員在線上參會,進行線上報告并與現場參會者進行實時互動交流。會議現場也嚴格執行佛山市疫情期間會議管控要求的管理方案,實行核酸檢測查驗、,體溫監測、,發放防疫用品,以及會場間隔就坐等措施。疫情并沒有削弱業內對IWAPS的熱情,參會者對會議報告反響強烈。     

    本屆大會本次會議由于疫情的原因,參會名額有限,因此會議方開通了線上互動環節。,除現場參會者外,還有許多國內外演講嘉賓和組委會成員在線上參會,進行線上報告并與現場參會者進行實時互動交流。會議現場也嚴格執行佛山市疫情期間會議管控要求的管理方案,實行核酸檢測查驗、,體溫監測、,發放防疫用品,以及會場間隔就坐等措施。疫情并沒有削弱業內對IWAPS的熱情,參會者對會議報告反響強烈。  

    IWAPS已連續成功舉辦四屆,今年在廣東佛山舉辦第五屆。佛山所在的廣東省是我國信息產業第一大省,2020年全省電子信息產業營業收入約5萬億元,連續30年居全國第一,在消費電子、通信、人工智能、汽車電子等領域擁有國內最大的半導體及集成電路應用市場,芯片消耗量相當驚人,集成電路進口金額占全國的40%左右,達1400億美元,基本形成以廣州、深圳、珠海為核心,帶動佛山、東莞、中山、惠州等地協同發展的產業格局。2019年中共中央、國務院印發《粵港澳大灣區發展規劃綱要》。按照規劃綱要,粵港澳大灣區要建成充滿活力的世界級城市群、國際科技創新中心、“一帶一路”建設的重要支撐、內地與港澳深度合作示范區,成為高質量發展的典范。

    本屆大會為集成電路產業主管部門、頂尖專家、龍頭企業和行業組織等搭建了一個交流合作、協同創新的高端平臺,共同分享前沿技術趨勢,加強產業鏈深度合作,助力集成電路產業高質量發展。將為佛山市乃至大灣區的集成電路產業發展提供更為廣闊的發展思路,推動產業實現優化提升。

       


    集成電路聯盟秘書處:

    地址:北京市朝陽區北土城西路3號電話:010-82997023 010-82995892

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