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  • 創新播報-集成電路創新聯盟
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    盛美半導體推出半關鍵清洗系列設備,拓寬Ultra C產品鏈

    2020-06-02   

    作為集成電路制造與先進晶圓級封裝(WLP)領域中領先的設備供應商,盛美半導體設備(NASDAQ:ACMR)近日發布了三款用于晶圓正、背面清洗工藝的Ultra C濕法清洗系列設備。

    這一系列設備包括晶圓背面清洗設備Ultra C b,自動槽式濕法清洗設備Ultra C wb,和刷洗設備Ultra C s,它們將盛美創新的濕法工藝技術擴展到了更廣泛的應用領域。

     “我們中國的客戶要求盛美除了提供應用于關鍵工藝步驟中前沿的主打產品之外,也為他們提供其他的非前沿設備,我們稱之為 “半關鍵設備”。這套設備可以提供高質量的工藝,以支持客戶生產鏈中要求不那么高,但仍然相當重要的步驟,”盛美半導體設備董事長王暉表示?!拔覀冮_發的Ultra C系列產品滿足了這一要求,擴展了產品鏈實現一站式服務,同時也為客戶提供了更有競爭力的產品?!?/span>

    這三款Ultra C系列新產品的目標市場是先進集成電路領域,功率器件領域和先進晶圓級封裝(WLP)領域。晶圓背面清洗Ultra C b和槽式濕法清洗Ultra C wb設備現已在中國先進半導體廠的量產中證明了它們的優勢。首臺刷洗設備Ultra C s也已在2020年第一季度交付中國客戶,在驗收合格后即可確認收入。

    晶圓背面清洗設備

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    Ultra C b

    Ultra C b是一款高性價比的晶圓背面清洗設備,具有良好的顆粒管控能力和刻蝕均勻性控制能力,該設備三大關鍵應用分別為晶圓背面清洗工藝,如金屬去除或RCA清洗;晶圓背面濕法硅刻蝕工藝,如晶圓背面濕法減薄或濕法硅通孔露出(TSV reveal);以及晶圓回收工藝中的多晶硅層、氧化層和氮化層等膜層剝離去除。該設備可處理高翹曲度晶圓,適用于處理200毫米或300毫米超薄晶圓和鍵合晶圓。 

    進行晶圓背面清洗時,使用傳統的夾具有可能對晶圓正面會帶來損傷,該設備的晶圓夾具與傳統的夾持方式不同,它利用了伯努利效應,使晶圓懸浮于晶圓夾具上,而晶圓正面與夾具間無物理接觸。當清洗化學藥液噴淋到晶圓背面進行工藝的時候,晶圓帶器件的一面就會由夾具噴出的氮氣(N2)對其進行保護。

    該伯努利晶圓夾具采用了盛美的專利技術,可通過控制晶圓和晶圓夾具之間空隙的間距,來控制刻蝕后晶圓邊緣的側向刻蝕寬度,同時滿足刻蝕后晶圓邊緣無夾具痕跡的要求。該設備可根據需要配置實現高產能,以匹配短工藝時間的應用,產能可達300片以上。也可選配先進的無接觸型機械手臂以實現超薄晶圓的傳輸。

    自動槽式清洗設備

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    Ultra C wb

    自動槽式清洗設備Ultra C wb,依托盛美研發的槽式與單片清洗集成設備Ultra C Tahoe的先進槽式技術基礎而開發,可以進行多達50片晶圓的批量清洗。自動槽式清洗設備的關鍵應用為爐管前清洗,RCA清洗,光阻去除,氧化層刻蝕,氮化硅去除,以及晶圓回收工藝中前段FEOL多晶硅/氧化硅層剝離去除,和后段BEOL金屬層剝離去除。該設備可針對不同的應用配置不同的化學藥液槽,如硫酸,磷酸,氫氟酸(HF),緩沖氧化物刻蝕液(BOE), SC1和SC2等化學藥液槽。晶圓依次在化學藥液槽中浸泡,經去離子水(DI)沖洗,最后在ATOMO干燥模塊中以汽化的異丙醇(IPA)進行干燥,干燥后無水痕。該設備的模塊化設計和較小的占地面積,使其可靈活配置。槽式清洗設備Ultra C wb可高效地回收使用化學藥水,節能減排。該設備可運用于200毫米或者300毫米的晶圓清洗應用。

    刷洗設備

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    Ultra C s

    新型刷洗設備Ultra C s以盛美在晶圓級封裝領域(WLP)已驗證成功的刷洗技術為基礎,延伸應用于集成電路制造領域。其配備的軟刷可以采用精準的壓力控制以清洗晶圓邊緣及背面的顆粒。該設備配有先進的二流體(氣體和液體)噴淋清洗技術,還可選配盛美獨有的空間交變相位移(SAPS?)兆聲波技術以滿足客戶更高的需求——更強勁的小顆粒去除能力。模塊化系統可配置8個腔體,用于集成電路制造領域300毫米的晶圓清洗,其中四個腔體用于正面清洗工藝,四個腔體用于背面清洗工藝。該刷洗設備性價比高,靈活性強、占地面積小、產能高。


    盛美半導體設備(上海)股份有限公司(ACM Research (Shanghai),Inc.)成立于2005年,是一家注冊在上海浦東新區張江高科技園區、具備世界領先技術的半導體設備制造商。盛美擁有國際先進水平的自主知識產權,集研發、設計、制造、銷售于一體,是一家專注于單片晶圓清洗設備、電鍍銅設備、先進封裝濕法設備研發及生產的公司。

    集成電路聯盟秘書處:

    地址:北京市朝陽區北土城西路3號電話:010-82997023 010-82995892

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