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  • 聯盟動態-集成電路創新聯盟
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    第六屆國際先進光刻技術研討會順利閉幕

    2022-10-28   

      2022年10月22日,第六屆國際先進光刻技術研討會(IWAPS)順利閉幕,本屆大會由中國集成電路創新聯盟,中國光學學會,中國電子學會主辦;中國科學院微電子研究所,中國光學學會光刻技術專業委員會承辦;廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院,南京誠芯集成電路技術研究院協辦,IEEE電氣和電子工程師協會提供支持。本次會議首次采用全線上的參會模式,聚焦先進節點,就光刻領域相關的熱點問題進行了充分交流和探討,為先進節點光刻工藝的研發提供技術思路、指導和答疑。

      會議開始,由SPIE會士、中國科學院微電子研究所計算光刻研發中心主任韋亞一研究員主持開幕式。大會主席、中國集成電路創新聯盟理事長、十三屆全國政協教科衛體委員會副主任、季華實驗室理事長兼主任曹健林研究員,大會主席、中國集成電路創新聯盟副理事長兼秘書長、中國半導體行業協會副理事長、中國半導體行業協會集成電路分會理事長葉甜春研究員,中國光學學會秘書長、COS、OSA、SPIE會士、浙江大學現代光學儀器國家重點實驗室主任劉旭教授,西門子 D2S Calibre Marketing 副總裁 Steffen Schulze分別致辭。按照大會日程安排,在兩天的時間里,來自 UCLA、Siemens EDA、 Synopsys、 BIT、 GDUT、 HLMC、 SMSC、 CXMT、 IMEC、 Fraunhofer IISB、Nikon、 Cymer、 CEPREI、 Canon、 Edwards、 JSR、PiBond、 ICCAS、 Fujifilm、 DJEL、 AMEDAC、 SIOM、ASML、徐州博康、北京超弦存儲器研究院、張江實驗室、蘇科思科技、上海華力、北京理工大學、復旦大學、湖南大學等公司機構和高校的特邀嘉賓分別就擬定的主題作特邀報告,深入分析光刻領域先進節點最新的技術手段和解決方案,包含先進節點的計算光刻技術、 SMO、 DTCO、EUV、工藝、量測、 Deep Learning、光刻設備、材料等,內容精彩豐富。

      

      圖1  領導致辭

      為總結經驗,IWAPS會務組從參會概況、會議內容等方面對本屆研討會做分析總結:

      一、研討會概況:

      本屆研討會共計20000余線上參會人次。這是iwaps經過幾屆發展的積累,說明已經逐漸在國內外光刻領域建立了一定的影響力。從收集的報名信息來看,參會單位多為產業鏈上下游的從業人員,兼有科研院校的學者。

      二、會議內容:

      1. 疫情新態勢下新的會議組織方式

      面對新冠疫情不斷散發的新態勢,研討會采用了全新的線上形式,使得會議如期圓滿舉行。會務組利用先進的線上會議平臺,突破了地域限制,實現“屏對屏”的互動模式,遠在千里之外的國外演講嘉賓以視頻方式與國內外參會者無縫溝通交流。此外,在內容形式上,利用微信公眾號、Zoom、蔻享學術、B站等直播和錄播相結合的方式,會議全程呈現全天候內容輸出,同步推出演講實況和內容。疫情并沒有削弱業內對IWAPS的熱情,參會者對會議的成功舉辦反響強烈。

      2. 演講報告繼續保持高水準

      本屆研討會共計報告67個,涵蓋光刻工藝、計算光刻、光刻設備、光刻材料、掩模、EUV、新型光刻技術、測量和檢測、DTCO等關鍵技術。演講嘉賓共37位,其中海外專家13位,國內專家24位,另外精選出30個海報。演講嘉賓中,特別邀請了美國加州學洛杉磯分校Puneet Gupta教授、歐洲IMEC公司Ryoung-han Kim博士做特邀報告,對光刻發展和設計制造協同優化等技術進行了特邀演講和報告。

      

      圖2  演講嘉賓

       


    集成電路聯盟秘書處:

    地址:北京市朝陽區北土城西路3號電話:010-82997023 010-82995892

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